退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設(shè)計(jì)的。

可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

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光亮退火爐為中等工業(yè)窯爐，呈長條形，車輛廠鍛冶車間車軸連續(xù)光亮退火爐原選用燃油亞高速燒嘴，首要用于火車車軸加熱鑄造后停止熱處置，是車輛廠鍛冶車間首要設(shè)備之一。
優(yōu)點(diǎn)運(yùn)用便當(dāng)，習(xí)氣消費(fèi)環(huán)境；爐膛內(nèi)升溫矯捷且各段溫度平均；爐體大修期確保五年以上，且爐門、燒嘴等易損部件維修便當(dāng)。
缺陷設(shè)備耗油量大，效率低，環(huán)境污染嚴(yán)重；由推鋼軌道等惹起的缺點(diǎn)多，維修艱難，影響了消費(fèi)；自動化控制水平低，廢品率高，普通在12%擺布，改良措施改造后的光亮退火爐的爐溫分為三區(qū)，其間工件由推鋼機(jī)推入爐膛一區(qū)--加熱區(qū)。
有兩邊墻上下錯列安頓的四只燒嘴，軌道由耐火磚砌成的拱支承，使工件可雙面 加熱，再向前是二區(qū)和三區(qū)--恒溫區(qū)，在兩邊墻同高度錯列安頓四個燒嘴。八只燒嘴均選用低壓渦流燒嘴，一區(qū)和二區(qū)之間設(shè)有距離梁，在爐子前后頂部配有兩臺 復(fù)合式金屬換熱器。
兩邊爐墻，爐底均選用磚砌結(jié)構(gòu)，爐頂用耐火纖維氈制成，選用一臺高壓風(fēng)機(jī)一同供應(yīng)助燃風(fēng)和用于排煙的引射風(fēng)，在煤氣總管，空氣總管上設(shè)有調(diào)理閥和流量孔板，在引射風(fēng)總管上也設(shè)有調(diào)理閥，一同裝備了一套搶先的微機(jī)控制系統(tǒng)，顯現(xiàn)儀表以及維護(hù)設(shè)備等。