真空時(shí)效爐是一種用于對(duì)材料進(jìn)行時(shí)效處理的熱處理設(shè)備，通過(guò)真空泵組將爐內(nèi)的空氣抽出，使其達(dá)到一定的真空度。

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在真空條件下，氣體分子數(shù)量極少，減少了氣體對(duì)熱量傳遞的影響，也避免了材料在加熱過(guò)程中與氧氣等氣體發(fā)生氧化反應(yīng)，利用加熱元件（如電阻絲、加熱帶等）對(duì)爐內(nèi)空間進(jìn)行加熱，使材料能夠在設(shè)定的溫度下進(jìn)行時(shí)效處理。
同時(shí)，爐體通常采用多層結(jié)構(gòu)的保溫材料，減少熱量散失，保證爐內(nèi)溫度的均勻性和穩(wěn)定性，將需要處理的材料放置在爐內(nèi)，在特定的溫度和真空度下保持一定的時(shí)間，使材料內(nèi)部的組織結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，從而達(dá)到改善材料性能的目的。
技術(shù)參數(shù)：
溫度范圍：不同型號(hào)和規(guī)格的真空時(shí)效爐溫度范圍有所不同，一般在幾百攝氏度到上千攝氏度之間。例如，一些用于普通金屬材料時(shí)效處理的真空時(shí)效爐溫度范圍在 200℃-800℃，而用于高溫合金等特殊材料的真空時(shí)效爐溫度可高達(dá) 1300℃以上。
真空度：真空度是衡量真空時(shí)效爐性能的重要指標(biāo)，通常用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）表示，高真空度可以保證材料在處理過(guò)程中不被氧化，提高處理效果，一般來(lái)說(shuō)，真空時(shí)效爐的真空度可達(dá)到 10?3Pa 以下。
溫度均勻性：溫度均勻性是指爐內(nèi)不同位置的溫度差異，良好的溫度均勻性可以保證材料在時(shí)效處理過(guò)程中各部分的性能一致，溫度均勻性通常用 ±℃來(lái)表示，一般要求在 ±5℃以內(nèi)。
裝載量：裝載量是指真空時(shí)效爐一次能夠處理的材料重量或體積，根據(jù)不同的生產(chǎn)需求，真空時(shí)效爐的裝載量有大有小，從幾十千克到幾噸不等。